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石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的？

文章來(lái)源： 深圳市華爾拓科技有限公司人氣：1717發(fā)表時(shí)間：2020-09-30 09:50:14【小中大】

深圳石墨模具舟晶圓裝載室：太陽(yáng)能行業(yè)使用，配合PECVD載具，裝載硅片，準(zhǔn)備中效、高效過(guò)濾器，保證吹送的空氣達(dá)到凈化要求。


深圳石墨模具舟的工作原理：

空氣經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾后，阻尼層被均勻壓緊，使?jié)崈舻臍饬鞔怪眴蜗蛩腿刖b載工作區(qū)，保證了工作區(qū)的清潔度達(dá)到工藝要求，操作人員在潔凈的環(huán)境下將硅片裝載到石墨舟內(nèi)。

深圳石墨模具船的主要特點(diǎn)：

1.石墨舟裝卸車(chē)能夠準(zhǔn)確定位；

2.采用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)牢固可靠；

3.使用三個(gè)GK系列高效空氣過(guò)濾器。

4.PECVD載具可傾斜15度或內(nèi)部旋轉(zhuǎn)180度；

5.凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。

6.確保工作區(qū)的潔凈度達(dá)到工藝要求的100級(jí)。

此文關(guān)鍵詞:深圳石墨模具
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